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MEMS麦克风的结构作用

2021-07-06

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  MEMS麦克风通过音孔和外部环境相连。隔膜(振动电极板)和背板(固定电极板)配置在音孔与MEMS芯片的背音室(空洞部)之非常小的空隙当中。隔膜和背板发挥着平行平板型电容器的作用,隔膜因为声压从而产生振动的时候,它和背板之间的空隙长度也会随之发生变化,从而导致静电容量发生变化。MEMS麦克风是把这种变化作为电气信号取出的,大家称之为静电容量型的麦克风。


  麦克风的主要音响特性拥有灵敏度、动态范围以及频率特性等。麦克风的灵敏度以施加特定声压的时候所输出电压大小表示。在MEMS麦克风当中,对于相同声压,隔膜的位移量越大,那么麦克风的灵敏度就越高。因此,通常情况下,MEMS麦克风小型化之后,隔膜面积也会随之变小,从而导致灵敏度也会下降。


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