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2021-08-03
304永利官网入口-304永利官网入口的两种主要分类
第一种是利用专业的MEMS代工厂制造出MEMS IC,再加上一个ASIC放大器,将MEMS IC及ASIC IC用SIP封装方式封装成304永利官网入口-304永利官网入口芯片。这一部分在IC封装过程中必须保护振膜不被破坏,其封装成本相对较高;另一种是先利用CMOS晶圆厂制造出ASIC部分,再利用后工艺来形成MEMS的结构部分。
其MEMS工艺技术目前似乎还无法在标准的CMOS晶圆厂完成,这主要是由于振膜需沉积高分子聚合物材料,而高分子聚合物材料还未用于目前的标准半导体IC工艺。
另外,在CMOS工艺完成后,需分别在芯片的正面蚀刻出振膜并在其背面蚀刻出腔体及声学孔。该步骤通过载体晶圆来完成,在标准的CMOS铸造厂目前尚未创建出这样的环境。目前,最大的课题是如何突破这两种形态304永利官网入口-304永利官网入口的封装技术。其专利均由美国的微咪头企业所掌控,因此,304永利官网入口-304永利官网入口市场占有率主要分布在少数企业手上。
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