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MEMS麦克风的特点

2021-03-24

  今天304永利官网入口的小编给大家先容的是MEMS麦克风的特点有什么?希翼大家通过下述的先容能够有所帮助,那么接下来一起看下吧。


  大部分麦克风都是驻极体电容器麦克风(即ECM),此项技术到现在已经有几十年的历史了。ECM的工作原理是运用具有永久电荷隔离的聚合材料振动膜。和ECM的聚合材料振动膜相对比,MEMS麦克风在不同温度下的性能都非常稳固,并且不会受到温度、振动、湿度以及时间的影响。因为耐热性强,MEMS麦克风能够承受两百六十度的高温回流焊,并且性能不会产生任何的改变。因为组装前后敏感性变化极小,这甚至能够节约制造过程中花费的音频调试本钱。现在,集成电路工艺的使用正愈来愈广泛地被应用于传感器还有传感器接口集成电路的制造当中。此项微制造工艺具备精确、设计灵活、尺寸微型化、可以和信号处理电路集成、低成本、大批量生产的特点。早期微型麦克风是基于压阻效应的,有研究报道表明,制作了以(1×1)cm2、2μm厚的多晶硅膜为敏感膜的麦克风。可是,在敏感膜内不存在应力的情况下,如此大而且很薄的多晶硅膜的一阶谐振频率将低于三百赫兹。


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